[发明专利]一种薄膜晶体管、制造方法及其液晶显示器

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制造方法及其液晶显示器。该制造方法包括：形成一源极于一第一金属层，其具有一斜面；形成一非晶硅层于源极的斜面；形成一漏极于非晶硅层的上方；形成一第一钝化层于源极的上方以及漏极的上方；以及形成一栅极于第一钝化层的上方，且栅极位于漏极侧边。非晶硅层与第一金属层所在平面的夹角为锐角，栅极与非晶硅层的接触面为尖角。相比于现有技术，本发明藉由非晶硅层的薄膜厚度控制薄膜晶体管的沟道长度，可将沟道长度的制程精度从微米等级提升至埃等级，摆脱了黄光制程的精度限制，大幅地提升沟道电流。此外，本发明的薄膜晶体管的栅极控制区域为点状沟道，可使线性区至饱和区的工作电压进一步降低。

主权项

一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：形成一源极于一第一金属层，所述源极具有一斜面且电性耦接至一数据线；形成一非晶硅层于所述源极的斜面；形成一漏极于所述非晶硅层的上方，其中，所述漏极与所述非晶硅层相接触的表面平行于所述源极的斜面；形成一第一钝化层于所述源极的上方以及所述漏极的上方；以及形成一栅极于所述第一钝化层的上方，且所述栅极位于所述漏极的侧边，其中，所述非晶硅层与所述第一金属层所在平面的夹角为锐角，且所述栅极与所述非晶硅层的接触面为尖角。