[发明专利]微尘检测机构

摘要

本发明涉及一种微尘检测机构，在一机体上设有一光学影像模块，且机体上设有一可供承载待检的光罩的载台模块，该载台模块位于光学影像模块下方、且可相对线性位移，本发明的特色在于机体于光学影像模块周缘设有至少二个相对等距、且等角的光源模块，所述的这些光源结构具有一可调整光源射出角度的激光发光件，使所述的这些激光发光件发出的光源能距焦于光学影像模块的检测范围内，且所述的这些激光光源组的光源接近或等于待检光罩的表面，如此，可提供有效的光源，以避免光源穿透透光件而产生影像干扰，且可供有效办视微尘的大小，能提升其检测的效率与准确率，减少不必要的误判状况，进一步可提高晶圆后续加工的合格率。

主权项

一种微尘检测机构，其特征在于，其至少包含有：一机体，其具有一移动轴；一载台模块，其滑设于机体的移动轴，该载台模块可供承载待测的透光件沿机体的移动轴线性位移；一光学影像模块，其设于机体上，供该光学影像模块与该载台模块能够相对位移，该光学影像模块由至少一呈线性扫描的影像感测元件所组成，该至少一影像感测元件的线性扫描延伸轴与载台模块的移动轴呈垂直相交并形成有交点；以及至少二光源模块，其分设于机体的移动轴两侧中的至少一侧，该至少二光源模块分别具有一激光发光件，且至少二该激光发光件的光源射出点与该交点等距且等角，该至少二激光发光件的光源射出点与待测透光件检测表面的夹角角度介于0.5至6度之间。