[发明专利]一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统有效
| 申请号： | 201510889560.1 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN106829863B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 邹飞;陈喜清;张旭;王玉丽;张治锦;郑宝刚;黎远中 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/52 | 分类号： | C01B3/52 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统，包括：含油氢气缓冲罐；氢气压缩机，与含油氢气缓冲罐连接；氢气淋洗塔，与氢气压缩机连接，氢气淋洗塔还设置有入口用于通入多晶硅生产过程中的含尘氢气，氢气淋洗塔用于使用通入的氯硅烷作为淋洗液进行淋洗；第一过滤器，与氢气淋洗塔的塔釜连接，第一过滤器用于进行过滤，得到过滤后的氯硅烷。上述系统避免了含尘氢气中的硅尘对于氢气压缩机的磨损损坏，解决了长时间运行后的氢气压缩机的维护困难的问题，且该系统可以同时处理含尘氢气和含油氢气，得到的回收氢气的纯度大大提高，减少氢气损耗和电解槽开启台数，提高系统平稳性，进而提高再利用氢气制备得到的多晶硅的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 氢气压缩机 淋洗塔 多晶硅生产过程 含尘 含油 第一过滤器 氢气缓冲罐 回收系统 氯硅烷 过滤 氢气制备 电解槽 多晶硅 淋洗液 平稳性 再利用 硅尘 淋洗 塔釜 台数 磨损 回收 维护 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统，其特征在于，包括：含油氢气缓冲罐，用于存储多晶硅生产中的含油氢气；氢气压缩机，与所述含油氢气缓冲罐连接，所述氢气压缩机用于进行压缩除油；氢气淋洗塔，与所述氢气压缩机连接，所述氢气淋洗塔还设置有入口用于通入多晶硅生产过程中的含尘氢气，所述氢气淋洗塔用于使用通入的氯硅烷作为淋洗液进行淋洗，在所述氢气淋洗塔的塔顶收集到回收的氢气；第一过滤器，与所述氢气淋洗塔的塔釜连接，所述第一过滤器用于进行过滤，得到过滤后的氯硅烷。
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