[发明专利]一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 201510943155.3 申请日: 2015-12-16
公开(公告)号: CN105551935A 公开(公告)日: 2016-05-04
发明(设计)人: 李静;刘科高;许超;徐勇;石磊 申请(专利权)人: 山东建筑大学
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L31/18;C25D9/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250101 *** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,属于太阳能电池用薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗二氧化锡导电玻璃基片,然后将C6H5Na3O7·2H2O、Zn(CH3COO)2、Na2S2O3·5H2O放入蒸馏水中,用电沉积法在导电玻璃片上得到前驱体薄膜,自然干燥,放入加有水合联氨的管式炉中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,其中水合联氨中加有升华硫粉,在密闭管式炉内加热,使前驱体薄膜硫化,最后取出样品进行干燥,得到硫化锌光电薄膜。本发明不需要高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得硫化锌光电薄膜有较好的连续性和均匀性,主相为ZnS相,可以实现低成本大规模的工业化生产。
搜索关键词: 一种 醋酸 制备 硫化锌 光电 薄膜 方法
【主权项】:
一种用醋酸锌制备硫化锌光电薄膜的方法,包括如下顺序的步骤:a.二氧化锡导电玻璃基片的清洗;b.将1.0~2.0份C6H5Na3O7·2H2O、4.5~9.0份Zn(CH3COO)2、65.0~130.0份Na2S2O3·5H2O放入2700.0~5400.0份的蒸馏水中,使溶液中的物质溶解;c.采用电沉积法将步骤b所述溶液在导电玻璃片上沉积得到前驱体薄膜,自然干燥,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,在水合联氨中加入升华硫粉,前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,将前驱体薄膜和水合联氨放入管式炉中;将管式炉加热至250~400℃之间,保温时间3~9h,然后冷却到室温取出;e.将步骤d所得物,进行自然干燥,得到硫化锌薄膜。
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