[发明专利]一种硅片边缘修复磨面机

摘要

本发明提供了一种硅片边缘修复磨面机，属于硅片技术领域。本硅片边缘修复磨面机，包括机架和磨轮，机架前端具有可前后移动的工作台面，磨轮位于工作台面后方，在磨轮前方设置有硅片对齐装置，硅片对齐装置包括焊接固连在机架侧面的一根竖直设置的立柱，立柱上端通过铰接轴转动连接有可摆动的支撑板，铰接轴固定在支撑板底部，支撑板上固定有对齐气缸，对齐气缸的推杆的前端固定有方板，方板与支撑板垂直设置，立柱上固定有驱动铰接轴转动或支撑板摆动的驱动机构，立柱上固定有阻挡杆，工作台面上设有竖直设置的矫正立板，矫正立板与对齐气缸正对。本发明通过对齐装置可将硅片位置进行矫正，即提高了硅片位置的精确性，又提高了硅片的质量。

主权项

1.一种硅片边缘修复磨面机，包括机架(1)和磨轮(2)，机架(1)前端具有可前后移动的工作台面(3)，磨轮(2)位于工作台面(3)后方，其特征在于，在磨轮(2)前方设置有硅片对齐装置，硅片对齐装置包括焊接固连在机架(1)侧面的一根竖直设置的立柱，立柱上端通过铰接轴(5)转动连接有可摆动的支撑板(6)，铰接轴(5)固定在支撑板(6)底部，支撑板(6)上固定有对齐气缸(7)，对齐气缸(7)的推杆的前端固定有方板(8)，方板(8)与支撑板(6)垂直设置，立柱上固定有驱动铰接轴(5)转动或支撑板(6)摆动的驱动机构，立柱上固定有阻挡杆(9)，当支撑板(6)处于水平状态时阻挡杆(9)与支撑板(6)的前端底部相抵靠且阻止支撑板(6)继续摆动，所述对齐气缸(7)由电磁阀(10)控制且在工作台面(3)上设有可检测方板(8)到位并向电磁阀(10)发出信号的感应开关(11)，工作台面(3)上设有竖直设置的矫正立板(12)，矫正立板(12)与对齐气缸(7)正对；驱动机构包括固定在立柱上的驱动电机(13)和固定在铰接轴(5)一端的齿轮一(14)，驱动电机(13)的输出轴上固定有与齿轮一(14)相啮合的齿轮二(15)；或者驱动机构包括固定在立柱上的驱动气缸(16)，驱动气缸(16)的推杆与支撑板(6)一端铰接；所述立柱为可伸缩结构，立柱分为下空心管(17)和上空心管(17)，上空心管(17)的外径等于下空心管(17)的内径且可插入下空心管(17)中，下空心管(17)上端螺纹连接有若干调节螺栓(19)，调节螺栓(19)的内端可与上空心管(17)相抵靠。