[发明专利]一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液在审
| 申请号： | 201510952174.2 | 申请日： | 2015-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN105420729A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 刘进军 | 申请（专利权）人： | 无锡吉进环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C09K13/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液，包括以下重量百分比的组合物：纳米二氧化钛 2.5％～4.5％；三氯化铁 0.5％～1.2％；硝酸 0.5％～1.6％；有机盐酸 2.5％～3.3％；非离子表面活性剂 1.5％～2.3％；稳定剂 0.5％～1.5％；消泡剂 3.5％～5.6％；其余为蒸馏水。本发明通过在原有工艺的基础上新加入了纳米二氧化钛，不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 氧化 电路板 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：纳米二氧化钛 2.5％～4.5％；三氯化铁 0.5％～1.2％；硝酸 0.5％～1.6％；有机盐酸 2.5％～3.3％；非离子表面活性剂 1.5％～2.3％；稳定剂 0.5％～1.5％；消泡剂 3.5％～5.6％；其余为蒸馏水。
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