[发明专利]一种高纯贵金属蒸发材料及其制备方法

摘要

一种高纯贵金属蒸发材料及其制备方法，该方法包括如下步骤：(1)以高纯贵金属为原材料，利用真空感应熔炼进行精炼，除去气体和杂质；其中，原材料纯度为99.99wt.％以上；(2)然后采用连续铸造，从坩埚底部以间歇式将结晶器中结晶的熔体引出，即可获得一定尺寸的高纯贵金属蒸发材料，所获得的丝材直径为多种规格，可以是φ3～12mm，若对长度有要求，可根据使用要求进行切断。采用本发明方法制备高纯贵金属蒸发材料，具有高效率、短流程、低损耗、低能耗、高精准化等优点，制备的高纯贵金属蒸发材料，杂质元素得到充分去除，纯度满足99.99.wt％以上的高纯金属标准要求，满足电子信息产业对制备高质量薄膜的性能要求。

主权项

一种高纯贵金属蒸发材料的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：I.以高纯贵金属为原材料，将原材料置于真空连续铸造炉的“底漏式”石墨坩埚中，坩埚底漏孔连接直管式水冷结晶器，预先由引棒密封坩埚底漏孔形成密闭的熔炼与结晶系统；II.采用真空泵组对炉室进行抽真空，使炉室真空度达到×10^‑1Pa以上；III.设置熔体精炼温度为金属熔点以上150～200℃，连续铸造温度为熔点以上100～150℃、结晶器冷却水温度为20～60℃；IV.将原材料缓慢加热至熔点温度，后再将熔液温度提高至熔点以上150～200℃，并保温5～60min，进行熔液精炼、充分除气和除杂；V.连续铸造时，先将熔液温度调整至熔点以上100～150℃，关闭真空泵系统，向炉室返充氩气作为保护气体；VI.引铸：驱动引棒将熔体向下牵引，熔体经过结晶器时会受冷凝固，引出的丝材夹持于结晶器下方两驱动辊轮之间；VII.将坩埚内部所有熔体连续引铸出来，得到高纯贵金属蒸发材料。