[发明专利]一种高精度曲率半径测试装置及方法在审
| 申请号： | 201510962288.5 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105571481A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张文龙;苗亮;刘钰;于杰;张海涛;马冬梅;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B7/293 | 分类号： | G01B7/293 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种高精度曲率半径测试装置及方法属于光学元件几何参数测量技术领域，目的在于解决现有技术存在的被测试光学元件表面容易划伤和较难达到亚微米量级的检测不确定度的问题，本发明的平移倾斜调整台设置在Z向移动台上，Z向移动台任意相对的两个侧壁和导轨配合上下滑动，被测试球面镜设置在平移倾斜调整台上，Z向移动台上表面均匀设置多个反射角锥，每个反射角锥上方垂直位置设置有导光元件，干涉测量系统辐射出的光经被测试球面镜成成干涉测量光路，干涉测量光路经干涉测量系统获得干涉图，双频激光器出射的激光经多个导光元件分成多束，分束后的激光分别垂直入射到多个反射角锥，经多个反射角锥反射形成双频激光干涉位移测量光路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 曲率 半径 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高精度曲率半径测试装置，包括干涉测量系统(1)和双频激光器(2)，其特征在于，还包括导光元件(3)、平移倾斜调整台(5)、Z向移动台(6)、反射角锥(7)和导轨(8)；所述平移倾斜调整台(5)设置在所述Z向移动台(6)上，所述Z向移动台(6)任意相对的两个侧壁和所述导轨(8)配合上下滑动，被测试球面镜(4)设置在所述平移倾斜调整台(5)上，所述Z向移动台(6)上表面均匀设置多个反射角锥(7)，每个反射角锥(7)上方垂直位置设置有导光元件(3)，干涉测量系统(1)辐射出的光经被测试球面镜(4)成成干涉测量光路(9)，所述干涉测量光路(9)经干涉测量系统(1)获得干涉图，所述双频激光器(2)出射的激光经多个导光元件(3)分成多束，分束后的激光分别垂直入射到多个反射角锥(7)，经多个反射角锥(7)反射形成双频激光干涉位移测量光路(10)。
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