[发明专利]一种承片台系统在审
申请号: | 201510977408.9 | 申请日: | 2015-12-23 |
公开(公告)号: | CN105458910A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 衣忠波;赵岁花;高岳;刘国敬;张敏杰 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | B24B37/30 | 分类号: | B24B37/30 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;安利霞 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种承片台系统,涉及可分离式机械装置领域,包括:承片台本体,所述承片台本体包括:承片台上部,及能与所述承片台上部啮合连接的承片台下部;所述承片台上部包括:第一啮合盘;所述承片台下部包括:第二啮合盘,底座子,所述底座子套装于所述第二啮合盘下端外;所述底座子上设置有用于接入气控装置所输送气体的气体通道,所述气体通道连通至所述轴承地座下端处;当所述气体通道内输送有气体时,所述轴承地座经由所述滚动轴承带动所述第二啮合盘相对所述花键做上升运动实现与所述第一啮合盘啮合连接。该方案改善了工作台的工作效率,提高工位变换的定位精度,保证磨削质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 承片台 系统 | ||
【主权项】:
一种承片台系统,其特征在于,包括:承片台本体,所述承片台本体包括:承片台上部(1),及能与所述承片台上部(1)啮合连接的承片台下部(2);所述承片台上部(1)包括:承片台主轴(11),所述承片台主轴(11)外部设置有一轴座(12),所述轴座(12)与所述承片台主轴(11)间安装有轴承,所述轴座(12)下部与一支撑座(13)卡嵌连接,所述承片台主轴(11)上端固定连接有一承片盘(14),所述承片台主轴(11)下端贯通于所述轴座(12)且固定连接有一第一啮合盘(15);所述承片台下部(2)包括:第二啮合盘(21),所述第二啮合盘(21)下端穿过一滚动轴承(22)与一花键(23)套接,所述花键(23)下端与动力装置固定连接,所述滚动轴承(22)外部固定安装有一轴承地座(24),所述轴承地座(24)活动安装于一底座子(25)上,所述底座子(25)套装于所述第二啮合盘(21)下端外;所述底座子(25)上设置有用于接入气控装置所输送气体的气体通道(26),所述气体通道(26)连通至所述轴承地座(24)下端处;当所述气体通道(26)内输送有气体时,所述轴承地座(24)经由所述滚动轴承(22)带动所述第二啮合盘(21)相对所述花键(23)做上升运动实现与所述第一啮合盘(15)啮合连接。
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