[发明专利]一种晶圆参数的修调方法及装置

摘要

本发明公开了一种晶圆参数的修调方法及装置，所述方法包括：根据晶圆参数值和晶圆参数档位值拟合线性公式；测量第N个实际晶圆参数值；根据线性公式、第N个实际晶圆参数值、第N个晶圆参数档位值及目标晶圆参数值确定第N+1个晶圆参数档位值；测量第N+1个实际晶圆参数值；根据线性公式、第N+1个实际晶圆参数值、第N+1个晶圆参数档位值及目标晶圆参数值确定第N+2个晶圆参数档位值；测量第N+2个实际晶圆参数值；确定第N+2个实际晶圆参数值与目标晶圆参数值的差值的绝对值是否小于第一预设值；在小于第一预设值时，将第N+2个晶圆参数档位值四舍五入后的值确定为目标晶圆参数档位值。本发明的修调时间端，提高了修调效率。

主权项

一种晶圆参数的修调方法，其特征在于：包括：根据晶圆参数值和晶圆参数档位值拟合线性公式；其中，晶圆参数档位的数量大于等于2；测量第N个晶圆参数档位值对应的第N个实际晶圆参数值；其中，所述N为正整数；根据所述线性公式、所述第N个实际晶圆参数值、所述第N个晶圆参数档位值及预先设定的目标晶圆参数值确定第N+1个晶圆参数档位值；测量第N+1个晶圆参数档位值对应的第N+1个实际晶圆参数值；根据所述线性公式、所述第N+1个实际晶圆参数值、所述第N+1个晶圆参数档位值及预先设定的目标晶圆参数值确定第N+2个晶圆参数档位值；测量第N+2个晶圆参数档位值对应的第N+2个实际晶圆参数值；确定所述第N+2个实际晶圆参数值与所述目标晶圆参数值的差值的绝对值是否小于第一预设值；在确定所述第N+2个实际晶圆参数值与所述目标晶圆参数值的差值的绝对值小于第一预设值时，将所述第N+2个晶圆参数档位值四舍五入后的值确定为目标晶圆参数档位值。