[发明专利]基板的检测设备及方法有效
| 申请号： | 201510981448.0 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106908454B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 胡贤夫;陈策;孙健;孙静;蔡灿 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 赵剑飞;龚敏 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板的检测设备及方法。本发明提供的基板的检测设备，包括：基座、固定结构、发射模块、接收模块和检测模块；所述固定结构设置在所述基座的上表面的边缘；所述发射模块设置在所述基座的上表面；所述接收模块设置在所述基座的上表面，且与所述发射模块相邻设置；所述检测模块与所述发射模块电连接，以及，所述检测模块与所述接收模块电连接。本发明实现了及时检测到基板是否异常，降低了因基板异常而造成设备污染的次数，提高了生产效率,而且能够节约资源。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种基板的检测设备，其特征在于，包括：基座、固定结构、发射模块、接收模块和检测模块；所述固定结构设置在所述基座的上表面的边缘；所述发射模块设置在所述基座的上表面；所述接收模块设置在所述基座的上表面，且与所述发射模块相邻设置；所述检测模块与所述发射模块电连接，以及，所述检测模块与所述接收模块电连接。
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