[发明专利]电子装置、电子装置的制造方法

摘要

一种电子装置、电子装置的制造方法。物理量传感器为，抑制了由于使用的环境的温度变化而引起的检测特性的变动的、检测特性更为稳定的物理量传感器。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)与配置于第一传感器元件(99)的外周的至少一部分的外缘部(90)，当俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽部(92)。

主权项

1.一种电子装置，其特征在于，在将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，具备：基板；第一功能元件，其在从所述Z轴方向俯视观察时与所述基板重叠，并基于静电电容的变化而对加速度进行检测，并且，包括能够位移的第一可动部，所述第一可动部与所述基板分离；第二功能元件，其在从所述Z轴方向俯视观察时与所述基板重叠，并基于静电电容的变化而对加速度进行检测，并且，包括能够位移的第二可动部，所述第二可动与所述基板分离；以及外缘部，其在从所述Z轴方向俯视观察时与所述基板重叠，并沿着所述第一功能元件的外周而配置，其中，所述外缘部为在从Z轴方向俯视观察时包围所述第一功能元件的框，并包括沿着所述X轴方向的第一外缘部和第二外缘部，以及沿着所述Y轴方向的第三外缘部和第四外缘部，在从所述Z轴方向俯视观察时，于所述第一外缘部、所述第二外缘部、所述第三外缘部以及所述第四外缘部中的至少一个上，以隔开间隔的方式而配置有：第一槽部，其在X轴方向上延伸；第二槽部，其在Y轴方向上延伸；以及第三槽部，其延伸方向与所述第一槽部的延伸方向以及所述第二槽部的延伸方向交叉，所述外缘部为矩形形状，所述第一槽部、所述第二槽部以及所述第三槽部中的至少一个被设置于所述第一功能元件与所述第二功能元件之间。