[发明专利]一种LCOS显示装置及制造方法有效
申请号: | 201511025517.7 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN105511125B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 杜玙璠;李端鹏 | 申请(专利权)人: | 豪威半导体(上海)有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/133;G02F1/136 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 余毅勤 |
地址: | 201611 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种LCOS显示装置及制造方法。该方法包括:提供衬底;在所述衬底的一面上形成超晶格堆栈结构;在所述超晶格堆栈结构上形成抗反射层,并在所述衬底的另一面上形成电极层;以及将所述衬底通过所述电极层与一液晶硅片贴合。本发明的LCOS显示装置利用超晶格堆栈结构吸收了LCOS显示装置发出的紫外光,改善了现有LCOS显示装置由于被紫外光侵蚀而导致出现残像或永久性变暗的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 lcos 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种LCOS显示装置的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:提供衬底;在所述衬底的一面上形成超晶格堆栈结构,所述超晶格堆栈结构通过如下步骤形成:在所述衬底的一面上形成初始堆栈结构,所述初始堆栈结构由SiO2层和SiOx层交替堆叠组成,其中,1
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