[发明专利]避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室

摘要

本发明提供了一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室，包括具有线性驱动轴的线性驱动部件和接头部件，接头部件一端固定于腔门边缘，接头部件另一端具有一连接孔；线性驱动部件的一端活动连接于真空腔的外壁上，另一端和接头部件另一端通过连接孔进行活动连接；通过线性驱动部件的旋转来驱动接头部件旋转从而打开或关闭腔门；环绕在线性驱动轴的端部的挡板套筒；位于接头部件的连接孔上的挡板，其具有靠近线性驱动部件的截止端；一栓销穿过连接孔，将挡板与挡板套套筒固定连接，且将挡板与接头部件之间活动连接；位于接头部件上的挡板阻件，其靠近挡板的截止端设置，且当挡板的截止端与挡板阻件接触后，接头部件被挡板卡住而不能继续旋转。

主权项

1.一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置，其包括接头部件(1)和具有线性驱动轴(6)的线性驱动部件(202)，所述接头部件(1)一端固定于所述腔门(201)边缘，另一端设置一连接孔(7)；所述线性驱动部件(202)通过所述连接孔(7)驱动所述接头部件(1)转动从而开启或关闭所述腔门(201)；其特征在于，所述启闭装置还包括：挡板套筒(5)，环绕在所述线性驱动轴(6)的端部；挡板(3)，位于所述连接孔(7)一侧，通过一栓销(4)实现与所述连接孔(7)和所述挡板套筒(5)的依次连接；挡板阻件(8)，位于所述接头部件(1)上，当所述腔门(201)开启至竖直方向或腔门(201)重心至竖直方向时，所述挡板(3)与所述挡板组件(8)互相抵靠。