[发明专利]一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备及应用

摘要

本发明涉及一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备及应用，包括蒸发腔室、蒸发源、样品架，样品架上设置衬底，蒸发腔室内横向设置有遮光板，遮光板位于蒸发源与样品架之间，遮光板上设有通孔，蒸发源通过通孔在样品架上的投影覆盖衬底，遮光板的材质为不透明的金属或非金属。本发明通过在蒸发腔室内横向设置有遮光板，阻止蒸发腔室侧壁将蒸发源发出的辐射热反射到衬底上，从而减少衬底升温，防止衬底本身或者其上的材料因不能承受高温烘烤而造成损坏。

主权项

一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备，其特征在于，包括蒸发腔室、蒸发源、样品架，所述样品架上设置衬底，所述蒸发腔室内横向设置有遮光板，所述遮光板位于所述蒸发源与所述样品架之间，所述遮光板上设有通孔，所述蒸发源通过所述通孔在所述样品架上的投影覆盖所述衬底，所述遮光板的材质为不透明的金属或非金属。