[发明专利]一种物料输送台结构和物料输送系统及方法有效

专利信息
申请号: 201511031855.1 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN106927256B 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 纪国友 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提出了一种物料输送台结构和物料输送系统及方法,一始终平行于水平面的上平台和始终平行于上平台并且位于上平台的下方的一下平台,用于上载和下载物料;一导轨机构,其所在的直线与上平台和下平台所在的平面皆相交但不垂直,上平台和下平台沿着导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部,相对于水平设置的平台结构无需增设垂直装置来改变物料的垂直位置,由于使两个平台沿斜坡向上运动做的功要小于使两个平台垂直上升所做的功,这种输送台结构相对于水平导轨结构能够精简结构,相对于垂直导轨结构对驱动器的功率要求降低,使用包括该物料输送台结构的物料输送系统输送物料的方法,具有精简结构、提高输送效率,节省能耗的优点。
搜索关键词: 上平台 物料输送系统 物料输送 台结构 导轨机构 下平台 下载 平行 驱动器 输送台结构 垂直导轨 垂直上升 垂直装置 功率要求 平台结构 输送物料 输送效率 水平导轨 水平设置 向上运动 不垂直 物料口 斜坡 口部 能耗 相交 增设 曝光
【主权项】:
1.一种物料输送台结构,其特征在于,包括:一始终平行于水平面的上平台和始终平行于所述上平台并且位于所述上平台的下方的一下平台,用于上载和下载物料;一导轨机构,其所在的直线与所述上平台和所述下平台所在的平面皆相交但不垂直,所述上平台和所述下平台沿着所述导轨机构能运动至曝光机上载和下载物料的物料口口部;其中,所述导轨机构包括上平台导轨和下平台导轨,所述上平台导轨所在直线为所述下平台导轨所在直线的异面直线。
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