[发明专利]连续掩膜挡板传动装置在审

专利信息
申请号: 201511033444.6 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN105525257A 公开(公告)日: 2016-04-27
发明(设计)人: 郭祖华;葛怀庆;练菊;朱向炜 申请(专利权)人: 蚌埠雷诺真空技术有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C16/04;C23C14/54;C23C16/52
代理公司: 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 代理人: 张建宏;和聚龙
地址: 233010 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座,安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口,镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽,掩膜挡板在所述滑槽内移动,底座放置在镀膜槽口下侧;传动组件至少包括传动丝杆,传动丝杆包括螺杆和螺母,螺杆支撑在安装支架上,螺杆的放置走向与滑槽的走向一致,螺母固定在掩膜挡板上;电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件,电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动,使工件逐步暴露在掩膜挡板外,配合外部镀膜设备对工件持续镀膜,进而达到渐进式镀膜的目的,满足对工件镀膜厚度的变化要求。
搜索关键词: 连续 挡板 传动 装置
【主权项】:
一种连续掩膜挡板传动装置,其特征是:包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座,安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口,镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽,掩膜挡板在所述滑槽内移动,底座放置在镀膜槽口下侧;传动组件至少包括传动丝杆,传动丝杆包括螺杆和螺母,螺杆支撑在安装支架上,螺杆的放置走向与滑槽的走向一致,螺母固定在掩膜挡板上;电机带动传动组件的螺杆转动。
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