[发明专利]连续掩膜挡板传动装置在审
申请号: | 201511033444.6 | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN105525257A | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
发明(设计)人: | 郭祖华;葛怀庆;练菊;朱向炜 | 申请(专利权)人: | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;C23C14/54;C23C16/52 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 张建宏;和聚龙 |
地址: | 233010 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座,安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口,镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽,掩膜挡板在所述滑槽内移动,底座放置在镀膜槽口下侧;传动组件至少包括传动丝杆,传动丝杆包括螺杆和螺母,螺杆支撑在安装支架上,螺杆的放置走向与滑槽的走向一致,螺母固定在掩膜挡板上;电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件,电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动,使工件逐步暴露在掩膜挡板外,配合外部镀膜设备对工件持续镀膜,进而达到渐进式镀膜的目的,满足对工件镀膜厚度的变化要求。 | ||
搜索关键词: | 连续 挡板 传动 装置 | ||
【主权项】:
一种连续掩膜挡板传动装置,其特征是:包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座,安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口,镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽,掩膜挡板在所述滑槽内移动,底座放置在镀膜槽口下侧;传动组件至少包括传动丝杆,传动丝杆包括螺杆和螺母,螺杆支撑在安装支架上,螺杆的放置走向与滑槽的走向一致,螺母固定在掩膜挡板上;电机带动传动组件的螺杆转动。
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