[实用新型]晶圆取片装置

摘要

本实用新型揭示了一种晶圆取片装置，包括：主体；用于固定晶舟的晶舟固定架，所述晶舟固定架连接所述主体；与多个晶圆一一对应的多个选片按钮；与所述多个选片按钮一一对应的多个制动机构，所述制动机构位于所述主体内；以及与所述多个制动机构一一对应的多个顶起件，所述顶起件正对所述开口。当选中至少一所述选片按钮时，对应的所述制动机构带动对应的所述顶起件运动，所述顶起件穿过所述开口，将对应的所述晶圆顶出，然后再用吸笔将顶出的晶圆取走，不必将所述吸笔伸入所述晶舟，从而避免刮伤所述晶圆的正面，并可以避免取错片的错误，同时有益于缩短操作时间。

主权项

一种晶圆取片装置，用于从晶舟中将晶圆取出，所述晶舟用于放置多个所述晶圆，所述晶舟具有晶圆取出口以及与所述晶圆取出口相对设置的放置面，所述放置面上具有一开口，其特征在于，所述晶圆取片装置包括：主体；用于固定所述晶舟的晶舟固定架，所述晶舟固定架连接所述主体；与所述多个晶圆一一对应的多个选片按钮；与所述多个选片按钮一一对应的多个制动机构，所述制动机构位于所述主体内；以及与所述多个制动机构一一对应的多个顶起件，所述顶起件正对所述开口；当选中至少一所述选片按钮时，对应的所述制动机构带动对应的所述顶起件运动，所述顶起件穿过所述开口，将对应的所述晶圆从所述晶舟中顶出。