[实用新型]一种用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统

摘要

本实用新型公开了用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，包括水泵、三个以上的净化罐、鼓风机、氨水池；各净化罐上部设有进水口和出气口，下部设有出水口、进气口和液位开关；第一个净化罐的进气口与废气管连通，三个以上的净化罐依次连接，最后一个净化罐的出气口与鼓风机连通；各净化罐的进水口均与水泵连通；各净化罐均设有与进水口连接的喷淋器和与其对应的液位开关电路连接的电磁阀。本实用新型结合净化罐上喷淋器喷洒出的水雾，通过多个串联而成的净化罐形成多级迂回的气体流动通路，形成多级递进的氨气回收系统，且气体流动通路处于高密封状态，结构合理，回收率高，密封性好，易于实施，有效避免了氨气泄漏和二次污染问题。

主权项

一种用于LED制造中的高密封性尾气排放氨气回收系统，其特征在于：包括水泵、三个以上的净化罐、鼓风机、氨水池；所述各净化罐内部设有空腔，上部设有进水口和出气口，下部设有出水口、进气口和液位开关；所述三个以上的净化罐依次连接，依气体流动处理方向，第一个净化罐的进气口为与废气管连通的进气口，位于中间的净化罐的进气口与前一个净化罐出气口连通，最后一个净化罐的出气口与所述鼓风机连通；所述各净化罐的进水口均与水泵连通；各净化罐的空腔顶部设有与进水口连接的喷淋器；各净化罐上均设有与其对应的液位开关电路连接的电磁阀，各净化罐的出水口均通过各自对应的电磁阀与氨水池密封连接。