[实用新型]TEM样品支架有效
| 申请号： | 201520019588.5 | 申请日： | 2015-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN204470252U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈卉 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B25H1/00;G01N1/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及TEM样品制备领域，具体涉及一种新型的去除样品表面聚合物的TEM样品支架，包括：基座，所述基座中设置有至少一个贯穿正反两面的孔洞；圆环，所述圆环呈筒状并设置在所述孔洞内，且该圆环的一端还设置有向内径中心延伸的载物台；托台，固定放置在所述载物台上，用于放置样品。本实用新型结构简单，能大大提高TEM样品在RIE机台中清理样品的使用频率，进而有利于提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | tem 样品 支架 | ||
【主权项】：
一种样品支架，其特征在于，包括：基座，所述基座中设置有至少一个贯穿正反两面的孔洞；圆环，所述圆环呈筒状并设置在所述孔洞内，且该圆环的一端还设置有向内径中心延伸的载物台；托台，固定放置在所述载物台上，用于放置样品。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司，未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520019588.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种通风柜顶罩
- 下一篇：机械清洁筒形容器内壁的装置
