[实用新型]气场指示片有效
| 申请号： | 201520021281.9 | 申请日： | 2015-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN204330806U | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 颜英哲;温俊斌 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P13/02 | 分类号： | G01P13/02 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，开口或视窗位于一隔板，隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，气场指示片包含有：一固定部；以及一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，固定端连接固定部的一侧；其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。本实用新型的气场指示片装设于二槽室之间，当二槽室内部产生有一压差时，一气场会由气压较高的槽室流向气压较小的槽室，通过气场指示片所产生的指示偏角，以得知气流的流向，再经由适当的气流调整，以避免制程中基板受到化学物质的污染；本实用新型的气场指示片的结构较为简易，故具有降低成本的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 指示 | ||
【主权项】：
一种气场指示片，其设于一开口或一视窗，该开口或该视窗位于一隔板，该隔板位于一化学湿制程机台的二槽室之间，其特征在于，该气场指示片包含有：一固定部；以及一指示部，其具有多数个条状片，各条状片具有一自由端与一固定端，该固定端连接该固定部的一侧；其中，当二槽室之间产生气流时，该指示部产生一指示偏角。
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