[实用新型]关键尺寸测量标记有效
| 申请号： | 201520033712.3 | 申请日： | 2015-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN204391103U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 邢滨;张士健 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种关键尺寸测量标记。所述关键尺寸测量标记包括两个第一标记和两个第二标记，所述第一标记和第二标记交替分布于一曝光单元的四个顶角处，所述第一标记包括第一子标记和第二子标记，所述第二标记包括第三子标记和第四子标记，所述第一子标记、第二子标记、第三子标记和第四子标记均呈直角折线状，并且，所述第一子标记的弯折处具有缺口。由于缺口的存在，会产生对比度，那么与程式中已由图形的对齐就容易且精确，避免了寻址失败的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 关键 尺寸 测量 标记 | ||
【主权项】：
一种关键尺寸测量标记，其特征在于，包括两个第一标记和两个第二标记，所述第一标记和第二标记交替分布于一曝光单元的四个顶角处，所述第一标记包括第一子标记和第二子标记，所述第二标记包括第三子标记和第四子标记，所述第一子标记、第二子标记、第三子标记和第四子标记均呈直角折线状，并且，所述第一子标记的弯折处具有缺口。
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