[实用新型]一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台有效
| 申请号： | 201520038915.1 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN204397857U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 于传文 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨溶智纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 王大为 |
| 地址： | 150050 黑龙江省哈尔*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，它涉及一种平面二自由度纳米级微动平台。以解决现有的平面二自由度纳米级微动平台存在结构复杂、输出精度低、工作台移动精度不稳定、装置体积大的问题，X向微动台总成与Y向微动台总成的结构相同，定位平台机体顶面开设有腔体，定位平台机体与移动台通过柔性铰链连接，传感器支架、挡板与压电陶瓷依次沿移动台移动方向设置，传感器支架为Z形支架，传感器的两个触点分别设置于传感器支架的两端，传感器支架的一端与挡板连接，传感器支架的另一端与定位平台机体连接，接线连接器设置于定位平台机体的外侧壁。本实用新型用于二自由度纳米级微动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 组合式 闭环 纳米 微动 平台 | ||
【主权项】：
一种二自由度组合式全闭环纳米级微动平台，其特征在于：所述二自由度组合式全闭环纳米级微动平台包括X向微动台总成(01)、Y向微动台总成(02)、连接板(04)与底座(05)，X向微动台总成(01)与Y向微动台总成(02)的结构相同，X向微动台总成(01)包括定位平台机体(31)、传感器支架(32)、传感器、接线连接器(34)、压电陶瓷(35)与移动台(36)，定位平台机体(31)顶面开设有腔体，移动台(36)与腔体相配合，移动台(36)底面固接有挡板(37)，定位平台机体(31)与移动台(36)通过柔性铰链(06)连接，压电陶瓷(35)置于移动台(36)底面，传感器支架(32)、挡板(37)与压电陶瓷(35)依次沿移动台(36)移动方向设置，压电陶瓷(35)的伸缩方向与移动台(36)的移动方向相一致，压电陶瓷(35)的一端与挡板(37)贴合，压电陶瓷(35)的另一端与腔体侧壁贴合，传感器支架(32)为Z形支架，传感器设置于传感器支架(32)内，传感器的两个触点分别设置于传感器支架(32)的两端，传感器支架(32)的一端与挡板(37)连接，传感器支架(32)的另一端与定位平台机体(31)连接，接线连接器(34)设置于定位平台机体(31)的外侧壁，Y向微动台总成(02)、连接板(04)、X向微动台总成(01)与底座(05)由上至下依次可拆卸连接，Y向微动台总成(02)的移动台(36)的移动方向与X向微动台总成(01)的移动台(36)的移动方向相垂直。
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