[实用新型]曝光用的定位夹具及其曝光机有效
| 申请号： | 201520065300.8 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN204462638U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 连大学 | 申请（专利权）人： | 深圳市卓力达电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种曝光用的定位夹具及其曝光机。定位夹具包括上玻璃和下玻璃。上玻璃设有上菲林，下玻璃设有下菲林，上菲林与下菲林图案一致。上玻璃上固定有多于一个母销钉，下玻璃固定有对应母销钉的公销钉，公销钉的外径等于母销钉的孔内径。进行曝光时，公销钉插入母销钉的孔内，上菲林与下菲林重合，上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定，工件位于上菲林与下菲林之间。曝光机包括机台和定位夹具。本实用新型通过公销钉和母销钉实现对位，公销钉与母销钉准确插合时上下菲林则准确对位，整个对位结构不需要昂贵的摄像机，达到了成本低精度高的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 定位 夹具 及其 | ||
【主权项】：
曝光用的定位夹具，包括上玻璃和下玻璃，上玻璃设有上菲林，下玻璃设有下菲林，上菲林与下菲林大小一致，其特征在于，所述上玻璃上固定有多于一个母销钉，下玻璃固定有对应所述母销钉的公销钉，公销钉的外径等于母销钉的孔内径；进行曝光时，公销钉插入母销钉的孔内，上菲林与下菲林重合，上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定，工件位于上菲林与下菲林之间。
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