[实用新型]弹性悬挂式吸盘及吸盘组结构有效
申请号: | 201520109367.7 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN204529978U | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 朱光;孟东方 | 申请(专利权)人: | 深圳光远智能装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 广东知恒律师事务所 44342 | 代理人: | 柴吉峰 |
地址: | 518101 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了弹性悬挂式吸盘及吸盘组结构,该弹性悬挂式吸盘包括:基板、吸嘴及至少两根弹性连接件,吸嘴开口方向与基板平面保持垂直,基板上开设有用于容置吸嘴和弹性连接件的容置区,每个弹性连接件的一端连接吸嘴,弹性连接件另一端连接容置区的内壁,吸嘴在基板平面上受到各弹性连接件的圆周向外的力保持平衡。弹性悬挂式吸盘的吸嘴采用弹性连接件拉紧悬挂固定在基板上,因此吸嘴在吸取物料时在竖直方向上或垂直基板的方向上都具有弹性裕度,实现了物料吸放的软着陆。吸盘组结构采用上述的弹性悬挂式吸盘层叠固定方式,各吸盘间距可进一步缩减,适合薄片物料的叠加吸取,使整个吸盘组结构的空间占用减小,实现集中吸取物料。 | ||
搜索关键词: | 弹性 悬挂 吸盘 结构 | ||
【主权项】:
弹性悬挂式吸盘,其特征在于,包括:基板、吸嘴及至少两根弹性连接件,吸嘴的开口方向与基板平面保持垂直,基板上开设有用于容置吸嘴和弹性连接件的容置区,每个弹性连接件的一端连接吸嘴,弹性连接件另一端连接容置区的内壁,吸嘴在基板平面上受到各弹性连接件的圆周向外的力保持平衡。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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