[实用新型]一种测试结构有效
申请号: | 201520113253.X | 申请日: | 2015-02-16 |
公开(公告)号: | CN204391104U | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 陈灿;宋永梁;单文光 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种测试结构,包括第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构;所述第一梳齿结构及所述第二梳齿结构均包括多根相对穿插设置的金属梳齿;所述蛇形结构位于相互穿插的所述第一梳齿结构及所述第二梳齿结构之间,且通过多段第三金属连线与第三端口连接。本实用新型在所述蛇形结构上均匀分段施加电压,避免蛇形结构上产生压降,确保了准确性;同时,本实用新型兼顾了现有技术中的多种测试结构,可通过本实用新型的测试结构同时得到多种测试结果,节省了测试能力,同时节省了版图面积,进而节省了成本;此外,准确性大大提高,同时利用不同的组合可对测试结构中的问题进行自检,排除测试中的隐患进而提高测试的准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 测试 结构 | ||
【主权项】:
一种测试结构,其特征在于,所述测试结构至少包括:第一梳齿结构、第二梳齿结构以及蛇形结构;所述第一梳齿结构包括多根相对穿插设置的第一金属梳齿,各第一金属梳齿通过第一金属连线连接到第一端口;所述第二梳齿结构包括多根相对穿插设置的第二金属梳齿,各第二金属梳齿与各第一金属梳齿穿插分布,各第二金属梳齿通过第二金属连线连接到第二端口;所述蛇形结构位于相互穿插的所述第一梳齿结构及所述第二梳齿结构之间,且通过多段第三金属连线与第三端口连接。
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