[实用新型]一种晶体频率微调机有效
申请号: | 201520127692.6 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN204474744U | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
发明(设计)人: | 王骥;关维国;朱木典;朱柳典;许萍;白长庚 | 申请(专利权)人: | 江苏海峰电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/54 |
代理公司: | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人: | 朱小燕;刘喜莲 |
地址: | 222300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型是一种晶体频率微调机,包括设在工作台上的底盘,底盘上罩有真空罩,真空罩内形成真空腔室,在底盘的下方设有与真空腔室相连的抽真空机组,在真空腔室内设有旋转盘,旋转盘上装有固定晶体的微调圈,在微调圈内设有蒸发舱,在微调圈外设有与蒸发舱配合的频率测试头,正对频率测试头的蒸发舱前舱壁上设有喷射孔,在蒸发舱内设有蒸镀机构,蒸镀机构与蒸发舱前舱壁之间设有与喷射孔配合的挡板。本实用新型通过将挡板设在蒸镀机构与蒸发舱前舱壁之间,这样减少钼舟距晶体的距离,使钼舟喷出的银集中、不分散,同时被挡住的银皮留存在挡板上,这样方便清理,不会出现堵塞现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 频率 微调 | ||
【主权项】:
一种晶体频率微调机,包括设在工作台上的底盘,底盘上罩有真空罩,真空罩内形成真空腔室,在底盘的下方设有与真空腔室相连的抽真空机组,其特征在于:在真空腔室内设有旋转盘,旋转盘上装有固定晶体的微调圈,在微调圈内设有蒸发舱,在微调圈外设有与蒸发舱配合的频率测试头,正对频率测试头的蒸发舱前舱壁上设有喷射孔,在蒸发舱内设有蒸镀机构,蒸镀机构与蒸发舱前舱壁之间设有与喷射孔配合的挡板。
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