[实用新型]一种用于腔室门的密封装置

摘要

本实用新型公开了一种用于腔室门的密封装置，通过在腔室隔板外侧的门孔周围设置第一磁铁，在第一磁铁以外的隔板外侧的腔室门移动区域设置第二磁铁，以及在腔室门的内侧水平滑动设置第三磁铁，并利用磁铁之间同极相斥、异性相吸的原理，通过在第三磁铁与第一磁铁之间产生相反极性相吸，使第三磁铁通过水平滑动与第一磁铁吸合，将门孔密封；通过在第三磁铁与第一、第二磁铁之间产生相同极性相斥，使第三磁铁通过水平滑动与第一磁铁分离，将门孔打开。本实用新型在机械手退出腔室后，能够及时对腔室进行磁性密封，具有结构简单、易实现的显著特点，可广泛应用于半导体清洗、氧化炉等设备的密封。

主权项

一种用于腔室门的密封装置，其特征在于，包括：腔室隔板，设于腔室与机械手运动区域之间，用于将腔室与其他区域相隔离；所述腔室隔板设有门孔，用于机械手向腔室传取晶片；所述腔室隔板外侧平行活动设有与所述门孔相配合的腔室门，用于受驱动沿直线平移至所述门孔对应位置或反向移开；第一磁铁、第二磁铁和第三磁铁，所述第一磁铁设于所述腔室隔板外侧，并包围所述门孔；所述第二磁铁设于所述腔室隔板外侧，并位于所述第一磁铁以外的所述腔室门的移动区域；所述第三磁铁水平滑动设于所述腔室门的内侧；其中，当所述腔室门移至所述门孔对应位置时，通过在所述第三磁铁与所述第一磁铁之间产生相反极性相吸，使所述第三磁铁通过水平滑动与所述第一磁铁吸合，将所述门孔密封；通过在所述第三磁铁与所述第一、第二磁铁之间产生相同极性相斥，使所述第三磁铁通过水平滑动与所述第一磁铁分离，将所述门孔打开，并与所述第二磁铁保持间隙，以跟随所述腔室门移动。