[实用新型]一种掩模版的夹持装置

摘要

本实用新型涉及掩模版技术领域，具体涉及一种掩模版的夹持装置，包括总架，还包括：固定组件，其包括可调支架和掩模版固定件，该掩模版固定件设置在可调支架上，用于固定掩模版；底部支撑架，其与可调支架连接，并与总架转动连接，该可调支架通过底部支撑架在一定倾斜角度上进行摆动。本实用新型通过设计一种掩模版的夹持装置，在检查掩模版前夹紧掩模版，实现对大尺寸掩膜版进行人工外观检查，降低成本；同时掩模版可通过夹持装置进行角度旋转，提高检查准确性，提高检查效率。

主权项

一种掩模版的夹持装置，包括总架，其特征在于，还包括：固定组件，其包括可调支架和掩模版固定件，该掩模版固定件设置在可调支架上，用于固定掩模版；底部支撑架，其与可调支架连接，并与总架转动连接，该可调支架通过底部支撑架在一定倾斜角度上进行摆动。