[实用新型]对位机构以及设有该对位机构的曝光机有效
| 申请号： | 201520161735.2 | 申请日： | 2015-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN204595429U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 张方德;谢桂平 | 申请（专利权）人： | 浙江欧视达科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 宋义兴 |
| 地址： | 325011 浙江省温州市温州高新*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种对位机构，包括基座组件以及对位支架和角度调节装置，所述角度调节装置设置在所述基座组件上，所述角度调节装置包括推动装置和用于驱动所述推动装置平移的第一驱动装置，所述第一驱动装置包括直线电机组件和光栅组件，所述光栅组件包括光栅尺、安装支架和光栅尺读数头，所述光栅尺读数头与推动装置相连并与推动装置移动方向平行设置，所述安装支架与基座组件相连，所述光栅尺设置在所述的安装支架上；还公开了一种曝光机，包括曝光机主体、光源装置、控制系统以及对位机构，所述对位机构安装在曝光机主体上。本实用新型的曝光机通过该对位机构自动调节安装位置，结构简单，稳定性好，调节精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 机构 以及 设有 曝光 | ||
【主权项】：
一种对位机构，包括基座组件(100)以及可转动设置在基座组件(100)上的对位支架(200)，其特征在于：还包括调节对位支架(200)相对基座组件(100)转动的角度调节装置(300)，所述角度调节装置(300)设置在所述基座组件(100)上，所述角度调节装置(300)包括推动装置(301)和用于驱动所述推动装置(301)平移的第一驱动装置(302)，所述第一驱动装置(302)包括直线电机组件(1)和光栅组件(2)，所述光栅组件(2)包括光栅尺(21)、安装支架(22)和光栅尺读数头(23)，所述光栅尺读数头(23)与推动装置(301)相连并与推动装置(301)移动方向平行设置，所述安装支架(22)与基座组件(100)相连，所述光栅尺(21)设置在所述的安装支架(22)上。
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