[实用新型]一种全自动晶圆划片机有效
申请号: | 201520192182.7 | 申请日: | 2015-04-01 |
公开(公告)号: | CN204603573U | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 陶雄兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市盛雄激光设备有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/70;B23K101/40 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 何树良 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种全自动晶圆划片机,包括机架,机架的一侧设置有激光器,激光器的下方设置有旋转划片工作台,机架的另一侧设置有自动放收料装置,所述自动放收料装置的旁侧设置有理料机构,自动放收料装置与理料机构之间连接有夹料机械手,理料机构与划片工作台之间设置有两组相互错位的吸料机械手;本实用新型的全自动晶圆划片机无需人手操作,大大提高设备的工作效率,而且加工前和加工后的晶圆片均放置于自动放收料装置,节省设备的体积。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 划片 | ||
【主权项】:
一种全自动晶圆划片机,包括机架,所述机架的一侧设置有激光器,所述激光器的下方设置有旋转划片工作台,其特征在于:所述机架的另一侧设置有自动放收料装置,所述自动放收料装置的旁侧设置有理料机构,所述自动放收料装置与理料机构之间连接有夹料机械手,所述理料机构与划片工作台之间设置有两组相互错位的吸料机械手。
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