[实用新型]可调变角度的镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201520215012.6 申请日: 2015-04-10
公开(公告)号: CN204589295U 公开(公告)日: 2015-08-26
发明(设计)人: 李晋昭;刘育杰 申请(专利权)人: 俊尚科技股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 代理人: 王正茂;丛芳
地址: 中国台湾新北*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型公开了一种可调变角度的镀膜装置,用于放置待镀基材,此可调变角度的镀膜装置包含基材载具、自转模块以及倾角调变模块。其中基材载具包含载面。自转模块包含中轴与转动马达。中轴连接基材载具,且中轴的延伸方向与载面的延伸方向相交夹角。转动马达连动中轴而使基材载具自转。倾角调变模块则包含具有升降套座的升降件与升降马达。其中升降套座可位移地套接中轴,令升降件受限平行于中轴的延伸方向位移。升降马达带动升降件位移而连动基材载具,致使夹角调变。根据本实用新型的可调变角度的镀膜装置,其可在工艺的过程中即时调整夹角,并同时让基材载具自转与公转。
搜索关键词: 可调 角度 镀膜 装置
【主权项】:
一种可调变角度的镀膜装置,用于放置至少一个待镀基材,其特征在于,所述可调变角度的镀膜装置包含:至少一个基材载具,其包含载面;自转模块,其包含:中轴,其连接所述基材载具,所述中轴的延伸方向与所述载面的延伸方向相交有夹角;及转动马达,其连动所述中轴而使所述基材载具自转;以及倾角调变模块,其包含:具有升降套座的至少一个升降件,所述升降套座可位移地套接所述中轴,令所述升降件在平行于所述中轴的延伸方向位移受到限制,且所述升降件连接所述基材载具;及升降马达,其带动所述升降件位移而连动所述基材载具,致使所述夹角调变。
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