[实用新型]一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台有效
申请号: | 201520276516.9 | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN204566424U | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 张松林;李林森;周君君 | 申请(专利权)人: | 成都超迈光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610058 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶圆棒加工领域,尤其是涉及蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台,包括:基台、晶圆棒I、连接处、晶圆棒II、弹性缓冲面、移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄,与现有技术相比具有的积极有益效果为:该装置配合X射线定向仪可快速对蓝宝石晶圆棒拼接切割进行精确定位,使生产效率和产品质量都得到大幅度提高,切割成本将降低30%以上,切割效率大幅增加。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 led 衬底 晶圆棒 拼接 定位 平台 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石LED衬底晶圆棒的多只拼接定位平台,包括:基台、移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄,其特征在于:所述基台和移动滑块与晶圆棒的接触面上设置有弹性缓冲面,所述基台为左右对称结构,所述移动滑块、固定螺母、精密螺杆、手柄的数量均为两组。
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