[实用新型]环形扩展光源干涉系统

摘要

本实用新型涉及一种环形扩展光源干涉系统，主要包括激光器(1)、全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)、平面反射镜(9)、成像透镜(10)和计算机(12)，所述激光器(1)后侧依次设置全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)和平面反射镜(9)，所述成像透镜(10)与分光镜(6)相对而设，成像透镜(10)的法线方向与激光方向垂直。与传统点光源的对比实验结果表明：环形光源能在保持干涉条纹对比度的同时，有效抑制相干噪声，环形光源模式下系统的本征噪声峰谷值小于点光源模式，约为传统点光源的64％，且没有明显的“牛顿环”噪声；环形光源模式下的测量重复性和测量精度都高于点光源模式，从而提高了干涉系统的测量精度。

主权项

一种环形扩展光源干涉系统，其特征在于：所述干涉系统主要包括激光器(1)、全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)、平面反射镜(9)、成像透镜(10)和计算机(12)，所述激光器(1)后侧依次设置全息光学元件(2)、聚焦透镜(3)、空间滤波器(4)、散射屏(5)、分光镜(6)、准直透镜(7)和平面反射镜(9)，所述成像透镜(10)与分光镜(6)相对而设，成像透镜(10)的法线方向与激光方向垂直。