[实用新型]溅射旋转靶材直线度检验装置有效
| 申请号： | 201520298256.5 | 申请日： | 2015-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN204788279U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 曹兴民;周俊琪 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 徐伟奇 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 溅射旋转靶材直线度检验装置,芯轴(1)一端安装数显表(5)，芯轴(1)中部安装红外线探头（2），芯轴(1)上红外线探头(2)两侧分别套装铁氟龙支撑轮(4)。通过内置结构设计，使得检测时能够方便的置入管靶中，依靠红外测距精细分析管靶内壁的起伏测量直线度，装置已与制作生产，检测过程简明扼要，操作简便易行，精密度较高，缩短检测周期，效率显著提升，检测精确，也便于自动化设计和改造。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 旋转 直线 检验 装置 | ||
【主权项】：
溅射旋转靶材直线度检验装置, 包括芯轴(1)、红外线探头(2)、铁氟龙支撑轮(4)和数显表(5)；其特征在于，芯轴(1)一端安装数显表(5)，芯轴(1)中部安装红外线探头（2），芯轴(1)上红外线探头(2)两侧分别套装铁氟龙支撑轮(4)。
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