[实用新型]用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置有效
| 申请号： | 201520321793.7 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN204589306U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 史攀峰;魏文昌;杜娜;程远梅;宋战刚 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 宋秀珍 |
| 地址： | 710006 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 提供一种用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，包括平台和支架，平台的两侧均设有支撑轴，平台通过支撑轴与支架中的侧板上端面接触并将平台撑在支架的上部，支架一侧部设有偏心轮驱动装置，偏心轮驱动装置中的偏心轮的中心处于最低点时，靠近偏心轮的两个支撑轴与偏心轮的外圆柱面接触，偏心轮驱动装置转动后驱动平台上下晃动，从而使置于平台上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。本实用新型有效避免了酸液溅出化学腐蚀槽而造成的人身安全等问题，具有制造成本低，腐蚀效果好，操作简单，安全可靠的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 硅样棒 化学 腐蚀 晃动 装置 | ||
【主权项】：
用于多晶硅样棒化学腐蚀槽的晃动装置，其特征在于：包括平台(1)和支架(2)，所述平台(1)的两侧均设有支撑轴(13)，所述平台(1)通过支撑轴(13)与支架(2)中的侧板(21)上端面接触并将平台(1)支撑在支架(2)的上部，所述支架(2)一侧部设有偏心轮驱动装置(3)，所述偏心轮驱动装置(3)中的偏心轮(31)中心处于最低点时，靠近偏心轮(31)的两个支撑轴(13)与偏心轮(31)的外圆柱面接触，所述偏心轮驱动装置(3)转动后驱动平台(1)上下晃动，从而使置于平台(1)上的化学腐蚀槽内的多晶硅样棒得到均匀腐蚀。
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