[实用新型]三维结构的氢终端金刚石场效应晶体管生物传感器有效
| 申请号： | 201520331776.1 | 申请日： | 2015-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN204649684U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 王晶晶;冯志红;何泽召 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三维结构的氢终端金刚石场效应晶体管生物传感器，涉及半导体器件技术领域。所述传感器包括金刚石基片，所述金刚石基片的上、下表面形成有氢端基金刚石层，每层氢端基金刚石层上形成有漏电极和源电极，所述漏电极和源电极之间的氢端基金刚石层上形成有捕获层，所述捕获层上形成有栅电极。所述传感器具有高效率、高灵敏度、分析速度快、体积小、试样用量少，成本低、易于大批量制备的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 结构 终端 金刚石 场效应 晶体管 生物 传感器 | ||
【主权项】：
一种三维结构的氢终端金刚石场效应晶体管生物传感器，其特征在于：所述传感器包括金刚石基片（1），所述金刚石基片（1）的上、下表面形成有氢端基金刚石层（2），每层氢端基金刚石层（2）上形成有漏电极（3）和源电极（4），所述漏电极（3）和源电极（4）之间的氢端基金刚石层（2）上形成有捕获层（5），所述捕获层（5）上形成有栅电极（6）。
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