[实用新型]一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置有效
| 申请号： | 201520357281.6 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204686671U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 孙智武;陈卫群;李海涛;李建刚;杨波 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置，包括研磨液过滤罐、循环供应罐和设置在循环供应罐内的供应泵，供应泵通过带有控制阀的供液管将循环供应罐内的研磨液输送给研磨机，研磨机排出的研磨液流入研磨液过滤罐中，且研磨液过滤罐的罐口处设置有过滤研磨液的过滤网，所述循环供应罐内还设置有用于将研磨液过滤罐内经过过滤的研磨液吸入到循环供应罐内并进行搅拌混合的搅拌泵。本实用新型通过将使用过的研磨液过滤后与循环供应罐内的研磨液混合后再次使用，从而实现了研磨液的重复利用，降低研磨液的使用成本约15%左右，同时，最大限度的降低了重复利用的研磨液对研磨效果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 研磨 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置，其特征在于：包括研磨液过滤罐（4）、循环供应罐（1）和设置在循环供应罐（1）内的供应泵（2），供应泵（2）通过带有控制阀的供液管（3）将循环供应罐（1）内的研磨液输送给研磨机，研磨机排出的研磨液流入研磨液过滤罐（4）中，且研磨液过滤罐（4）的罐口处设置有过滤研磨液的过滤网（5），所述循环供应罐（1）内还设置有用于将研磨液过滤罐（4）内经过过滤的研磨液吸入到循环供应罐（1）内并进行搅拌混合的搅拌泵（6）。
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