[实用新型]一种平面阴极溅射挡板有效
| 申请号： | 201520392902.4 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN204999964U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 董清世;周枫;蔡法清;高昌龙 | 申请（专利权）人： | 信义节能玻璃（芜湖）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;彭愿洁 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，第一阴极挡板本体与第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，第一挡板与第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，第一挡板与第二挡板之间相向滑动时将开口部位部分封盖；第一挡板伸向开口部位的伸出部位以及第二挡板伸向开口部位的伸出部位均为圆角。本实用新型能够使平面阴极的均匀性达到生产要求。并且上述伸出部位均为圆角，能够保证在溅射过程中不发生放电现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 阴极 溅射 挡板 | ||
【主权项】：
一种平面阴极溅射挡板，包括第一阴极挡板本体和第二阴极挡板本体，所述第一阴极挡板本体与所述第二阴极挡板本体之间具有一个开口部位，其特征在于，所述第一阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第一挡板，所述第二阴极挡板本体上设置有与其平行且能够沿其表面滑动的第二挡板，所述第一挡板与所述第二挡板之间能够相向滑动或者相背滑动，所述第一挡板与所述第二挡板之间相向滑动时将所述开口部位部分封盖；所述第一挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角，所述第二挡板伸向所述开口部位的伸出部位为圆角。
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