[实用新型]一种石英埚装硅料辅助工具有效
申请号: | 201520397192.4 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204752896U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 王东;张浩强;张鹏;闫广宁;王怡然;李永峰;赵飞 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石英埚装硅料辅助工具。其包括用来靠在石英埚外壁的竖直靠板,与竖直靠板相配合、用来靠在石英埚埚沿上、宽度与石英埚壁厚相等的水平靠板,设置在水平靠板上方、其内沿位置对应于石英埚内壁位置的竖直界限板,设置在竖直界限板对面、其内沿位置对应于导流筒的位置的倾斜界限板,以及连接竖直界限板和倾斜界限板的水平连接板,水平连接板的内沿位置对应于石英埚内硅料的最高位置。本实用新型能够避免石英埚装加的硅料在热场中加热时与石墨导流筒的接触。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 埚装硅料 辅助工具 | ||
【主权项】:
一种石英埚装硅料辅助工具,其特征在于:包括用来靠在石英埚外壁的竖直靠板(1),与竖直靠板(1)相配合、用来靠在石英埚埚沿上、宽度与石英埚壁厚相等的水平靠板(2),设置在水平靠板(2)上方、其内沿位置对应于石英埚内壁位置的竖直界限板(3),设置在竖直界限板(3)对面、其内沿位置对应于导流筒的位置的倾斜界限板(4),以及连接竖直界限板(3)和倾斜界限板(4)的水平连接板(5),水平连接板(5)的内沿位置对应于石英埚内硅料的最高位置。
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