[实用新型]一种纳米材料真空镀膜机有效
| 申请号： | 201520413494.6 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN204779779U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 肖桥兵 | 申请（专利权）人： | 广东易能纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/24 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 何树良 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机，包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵，所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接，所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通，所述裂解炉和真空炉之间还设置有气动阀，本实用新型结构简单、紧凑，密封性强，镀膜效果好，薄膜不宜脱落，镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 材料 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：包括用于将纳米镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉（1）、对气体进行裂解反应的裂解炉（2）以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉（3）、对真空炉（3）内进行抽真空的真空泵（4）以及对真空炉（3）内进行加压的加压泵，所述真空炉（3）分别通过管道与真空泵（4）和加压泵连接，所述蒸发炉（1）、裂解炉（2）和真空炉（3）之间通过管道连通，所述裂解炉（2）和真空炉（3）之间还设置有气动阀（6）。
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