[实用新型]纳米真空阴极联合多弧镀膜机有效
| 申请号： | 201520420952.9 | 申请日： | 2015-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN204803395U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 张建坡;李亚军 | 申请（专利权）人： | 超微中程纳米科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纳米真空阴极联合多弧镀膜机，包括机器外壳，在所述的机器外壳内设有多弧镀膜室，所述的多弧镀膜室内部设有旋转支架，所述的旋转支架下方设有驱动电机，所述的多弧镀膜室的顶部设有真空阴极电子枪，在所述的多弧镀膜室的底部设有辅助阳极，在所述的多弧镀膜室上连接有抽真空系统。采用了上述结构至，在机器内部能够保证镀膜的时候自动化旋转，能够保证镀膜的厚度均匀，采用此抽真空系统能够保证机器内部的真空度，使得涂层的附着力增加，提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 真空 阴极 联合 镀膜 | ||
【主权项】：
一种纳米真空阴极联合多弧镀膜机，包括机器外壳（1），在所述的机器外壳（1）内设有多弧镀膜室（2），其特征在于，所述的多弧镀膜室（2）内部设有旋转支架（5），所述的旋转支架（5）下方设有驱动电机（6），所述的多弧镀膜室（2）的顶部设有真空阴极电子枪（3），在所述的多弧镀膜室（2）的底部设有辅助阳极（4），在所述的多弧镀膜室（2）上连接有抽真空系统。
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