[实用新型]一种光刻胶自动平衡调节装置有效
| 申请号： | 201520434025.2 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN204740421U | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 赵灿东;黄定平 | 申请（专利权）人： | 河源市璐悦自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 517000 广东省河源市城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种光刻胶自动平衡调节装置，所述光刻胶自动平衡调节装置包括两个机构固定座、涂胶刮刀、涂胶刮刀龙门架、两个龙门架活性自动补偿机构、两套步进减速电机、两个丝杆模组、两个实时平衡检测反馈元件，所述涂胶刮刀龙门架安装在两个机构固定座之间，所述涂胶刮刀安装在所述涂胶刮刀龙门架上；两个龙门架活性自动补偿机构安装在所述涂胶刮刀龙门架的同一端与所述涂胶刮刀龙门架活动连接，且与所述机构固定座连接；一个步进减速电机安装在一个机构固定座上，所述步进减速电机的输出端通过丝杆模组与所述涂胶刮刀龙门架的一端活动连接，两个实时平衡检测反馈元件沿水平方向安装在所述涂胶刮刀龙门架上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 自动 平衡 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶自动平衡调节装置，其特征在于：所述光刻胶自动平衡调节装置包括两个机构固定座、涂胶刮刀、涂胶刮刀龙门架、两个龙门架活性自动补偿机构、两套步进减速电机、两个丝杆模组、两个实时平衡检测反馈元件，所述涂胶刮刀龙门架安装在两个机构固定座之间，所述涂胶刮刀安装在所述涂胶刮刀龙门架上；两个龙门架活性自动补偿机构安装在所述涂胶刮刀龙门架的同一端与所述涂胶刮刀龙门架活动连接，且与所述机构固定座连接；一个步进减速电机安装在一个机构固定座上，所述步进减速电机的输出端通过丝杆模组与所述涂胶刮刀龙门架的一端活动连接，两个实时平衡检测反馈元件沿水平方向安装在所述涂胶刮刀龙门架上。
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