[实用新型]高效率吸取装置

摘要

本实用新型公开了一种高效率吸取装置，用以吸取一基板，包括有一吸取本体、多个抽气管以及一负压产生源。吸取本体包括有一朝向基板的吸取平面，一与吸取平面平行的操作平面，以及多个各别独立贯穿吸取本体且连通吸取平面与操作平面的抽气通道，多个抽气通道包括有一开设于吸取平面的第一开口以及一开设于操作平面的第二开口，操作平面根据基板实际形状定义出一对应基板的抽气区域以及一未对应基板的空白区域。多个抽气管分别接设抽气区域中的多个抽气通道，多个抽气管包括有一插接于多个抽气通道的第二开口的第一端，以及一远离第一端并与其气流连通的第二端，第二端连接一负压产生源针对抽气区域中的多个抽气通道抽气使基板吸附于吸取平面。

主权项

一种高效率吸取装置，用以吸取一基板，其特征在于，包括有：一吸取本体，包括有一朝向所述基板的吸取平面，一与所述吸取平面平行的操作平面，以及多个各别独立贯穿所述吸取本体且连通所述吸取平面与所述操作平面的抽气通道，所述多个抽气通道包括有一开设于所述吸取平面的第一开口以及一开设于所述操作平面的第二开口，所述吸取本体的所述操作平面根据所述基板实际形状定义出一对应所述基板的抽气区域以及一未对应所述基板的空白区域；多个抽气管，分别接设所述抽气区域中的所述多个抽气通道，所述多个抽气管包括有一插接于所述多个抽气通道的所述第二开口的第一端，以及一远离所述第一端并与其气流连通的第二端，所述第二端连接一负压产生源针对所述抽气区域中的所述多个抽气通道抽气使所述基板吸附于所述吸取平面。