[实用新型]一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置

摘要

一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置，在不锈钢槽体长度方向的两端分别设置有与下水管道连接的出水口和与喷砂设备排液口连接的进水口，不锈钢槽体的内部设置有两块不锈钢隔断溢流板，且两块不锈钢隔断溢流板将不锈钢槽体的内部空间依次分隔成一级沉淀槽、二级沉淀槽和三级沉淀槽。本实用新型使砂液流入回收装置时，先后经过一级、二级和三级沉淀后，剩余几乎不带砂子的水会通过回收装置出水口排至下水管道。通过本回收装置，可以回收90%以上的砂子，大大降低生产成本，而且还避免直接排至下水管道从而造成管道堵塞、环保等问题，具有结构简单、环保节能、使用方便、安全可靠等的优点。

主权项

一种硅晶片背面湿法喷砂用砂子回收装置，其特征在于：包括由横向支撑杆（2）和纵向支撑杆（3）支撑加固的不锈钢槽体（6），不锈钢槽体（6）的底部设置有万向脚轮（1），上部设置有推车把手（5），在不锈钢槽体（6）长度方向的两端分别设置有与下水管道连接的出水口（4）和与喷砂设备排液口连接的进水口（8），不锈钢槽体（6）的内部设置有两块不锈钢隔断溢流板（7），两块不锈钢隔断溢流板（7）将不锈钢槽体（6）的内部空间依次分隔成一级沉淀槽（601）、二级沉淀槽（602）和三级沉淀槽（603），且一级沉淀槽（601）靠近进水口（8），三级沉淀槽（603）靠近出水口（4）。