[实用新型]一种硅片清洗周转盒有效

专利信息
申请号: 201520483580.4 申请日: 2015-07-02
公开(公告)号: CN204735519U 公开(公告)日: 2015-11-04
发明(设计)人: 孙显强 申请(专利权)人: 温州市赛拉弗能源有限公司
主分类号: B08B13/00 分类号: B08B13/00;H02S40/10
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 325011 浙江省温*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种硅片清洗周转盒,其中,包括:清洗框;若干个靠板,所述靠板倾斜设置在清洗框内;若干个弹性支架,所述弹性支架固定设置在靠板的一端,所述弹性支架具有弹性底板和一对底板固定块,一对底板固定块分别固定在弹性底板的两端;若干个底板支架组合,所述底板支架组合固定设置在清洗框内,且抵挡在一对底板固定块上。本实用新型结构合理、使用寿命长、具有减振作用。
搜索关键词: 一种 硅片 清洗 周转
【主权项】:
一种硅片(2)清洗周转盒,其特征在于,包括:若干个清洗框(1);若干个靠板(4),所述靠板(4)倾斜设置在清洗框(1)内;若干个弹性支架(5),所述弹性支架(5)固定设置在靠板(4)的一端,所述弹性支架(5)具有弹性底板(51)和一对底板固定块(52),一对底板固定块(52)分别固定在弹性底板(51)的两端;若干个底板支架组合(6),所述底板支架组合(6)固定设置在清洗框(1)内,且抵挡在一对底板固定块(52)上。
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