[实用新型]一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置

摘要

本实用新型公开了一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置，其中载板包括底板，所述底板包括框架及框架内形成的开孔，在开孔中固定在框架上设有多条承载硅片的金属丝，所述金属丝上设有固定硅片的定位块。所述加热装置包括载板和加热板。本实用新型在载板上通过设置多根金属丝，硅片由载板托起，并被放置到加热板上，由于加热板上开有与载板上的金属丝位置对应的凹槽，金属丝沉入到加热板的凹槽中，而硅片被放置到加热板表面；所以放置到加热板表面的硅片就不会因载板的变形而受到影响，其更好的稳定等离子体，提高了HIT太阳能电池PN结的制备质量，提高光电转换效率及生产良率。

主权项

一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于：包括底板，所述底板包括框架及框架内形成的开孔，在开孔中固定在框架上设有多条用于承载硅片的金属丝。