[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201520524404.0 | 申请日： | 2015-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN204836576U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 朱佳辉 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;高青 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风，包括：基板，外壳，所述外壳和所述基板形成腔体，所述腔体包括适于接收声信号的进音孔；以及设置在所述腔体内的MEMS传感器和集成电路芯片，其中，所述集成电路芯片倒装安装在所述基板上，所述MEMS传感器通过金属线电连接所述基板，并通过基板电连接所述集成电路芯片。通过集成电路芯片倒装，减少了金属线，降低了对集成电路芯片的电气干扰，不需要在集成电路芯片上涂覆封装胶，降低了工艺复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：基板，所述基板包括第一表面和相对的第二表面；设置在基板第一表面上的外壳，所述外壳和所述基板的第一表面形成腔体，所述腔体包括适于接收声信号的进音孔；以及设置在所述腔体内的MEMS传感器和集成电路芯片，其中，所述集成电路芯片倒装安装在所述基板的第一表面上，所述MEMS传感器通过金属线电连接所述基板，并通过基板电连接所述集成电路芯片。
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