[实用新型]一种转动式振镜扫描装置有效
申请号: | 201520529429.X | 申请日: | 2015-07-21 |
公开(公告)号: | CN204771140U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 黄见洪;林文雄;张志;史斐;郑晖;葛燕;吴鸿春;戴殊韬 | 申请(专利权)人: | 中国科学院福建物质结构研究所 |
主分类号: | B23K26/082 | 分类号: | B23K26/082 |
代理公司: | 北京庆峰财智知识产权代理事务所(普通合伙) 11417 | 代理人: | 谢蓉 |
地址: | 350002 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种转动式振镜扫描装置包括激光器、转动装置、转轴、转台和扫描振镜,扫描振镜安装在转台上,转轴的第一端连接到在转台一侧上,转动装置驱动转轴旋转,从而使得扫描振镜随转台一起转动,改变其工作位置。转动式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个固定工作位置,使得扫描振镜保证加工精度的前提下,工作范围扩大4倍,克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限,同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 转动 式振镜 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种转动式振镜扫描装置,其特征在于:包括激光器、转动装置、转轴、转台和扫描振镜,扫描振镜安装在转台上,转轴的第一端连接到在转台一侧上,转动装置驱动转轴旋转,从而使得扫描振镜随转台一起转动,改变其工作位置,激光器发射的激光由扫描振镜反射照射到扫描振镜下方的工作面上。
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