[实用新型]一种晶元清洗机用供料机

摘要

本实用新型涉及一种晶元清洗机用供料机，包括分片机架、传输机架、滑轨、限位板、立架，立架顶面设有滑动箱，滑动箱上设有横梁，滑动箱上设有纵向驱动机构，横梁设有升降气缸及吸盘；分片机架上设有升降电缸，升降电缸连接托板，分片机架设有横向传输带机构；传输机架设有纵向传输带，传输机架设有升降支架，升降支架设有横向带轮、横向输送带，传输机架设有举升气缸，升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。本实用新型利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动，通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向，自动化程度高，碎片率低；挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割，实现多个晶元的输送，生产效率高。

主权项

一种晶元清洗机用供料机，其特征在于，包括分片机架、放置在分片机架侧面的传输机架，所述分片机架顶面设有滑轨，所述滑轨末端设有限位板，所述分片机架顶面竖直设有立架，所述立架顶面设有滑动箱，所述滑动箱上设有沿所述滑动箱纵向滑动的横梁，所述滑动箱上设有驱动所述横梁移动的纵向驱动机构，所述横梁设有升降气缸，所述升降气缸的气缸杆上设有吸盘；所述分片机架上设有升降电缸，所述升降电缸的电缸杆顶部设有托板，所述托板穿过所述分片机架顶面，所述滑轨后方的分片机架顶面设有横向传输带机构；所述传输机架设有纵向传输带，所述传输机架上设有升降支架，所述升降支架上设有横向带轮以及绕在所述横向带轮上的横向输送带，所述传输机架上设有与所述升降支架连接的举升气缸，所述升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。